|
1-4. ÇÏÀÌÁ¨º£¸£Å©ÀÇ ºÒÈ®Á¤¼º À©¸®, Åͳθµ È¿°ú¿Í ´Üä³Î È¿°ú
ÇÏÀÌÁ¨º£¸£Å©(Werner Heisenberg, 1901-1976)8)´Â 20¼¼±â °¡Àå À§´ëÇÑ ¹°¸®ÇÐÀÚ
Áß ÇÑ »ç¶÷ÀÌ´Ù. ±×´Â ¹Ì½Ã¼¼°èÀÇ ÀÚ¿¬¹ýÄ¢ÀÎ ¾çÀÚ¿ªÇÐÀ» ¼¼¿î »ç¶÷ ÁßÀÇ ÇÑ »ç¶÷À¸·Î
°¡Àå À¯¸íÇÏ¸ç Æ¯º°È÷ ¾çÀÚ À̷п¡¼ ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®(Uncertainty Principle)¸¦ Á¦¾ÈÇÑ
»ç¶÷À¸·Î À¯¸íÇÏ´Ù. ±×·¡¼ ÇÏÀÌÁ¨º£¸£Å©9) ÇÏ¸é ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®¸¦ ¿¬»óÇÏ¸ç ºÒÈ®Á¤¼º
¿ø¸®´Â Çϵµ À¯¸íÇØ¼ ¹°¸®ÇÐ ¹Ù±ù ¼¼»ó¿¡¼ ±îÁö ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®°¡ ÀÔ¿¡ ¿À¸£³»¸°´Ù.
±×·¯³ª ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®´Â ¾çÀÚ¿ªÇп¡¼ ¾ÆÁÖ Æ¯Á¤ÇÑ Çö»ó¿¡ ´ëÇÑ °ÍÀÌÁö ÀϹÝÀûÀ¸·Î
Åë¿ëµÉ ¼ºÁúÀÇ °ÍÀº ¾Æ´Ï´Ù. ÇÏÀÌÁ¨º£¸£Å©´Â 1932³â ³ëº§¹°¸®ÇлóÀ» ¼ö»óÇß´Ù.10) ÇÏÀÌÁ¨º£¸£Å©°¡
1927³â ¹ßÇ¥ÇÑ ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®11)¸¦ ÇѸ¶µð·Î ¼³¸íÇÑ´Ù¸é ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¸»ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀüÀÚÀÇ À§Ä¡¸¦ ´õ Á¤È®È÷ ÃøÁ¤Çϸé ÇÒ¼ö·Ï ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¼ø°£ÀÇ ¿îµ¿·®(ÀüÀÚÀÇ Áú·®°ú
¼Óµµ¸¦ °öÇÑ ¾ç)Àº ´õ ´ú Á¤È®È÷ ¾Ë°Ô µÇ¸ç, ÀüÀÚÀÇ ¿îµ¿·®À» ´õ Á¤È®È÷ ÃøÁ¤Çϸé
ÇÒ ¼ö·Ï ±× ¼ø°£ÀÇ ÀüÀÚÀÇ À§Ä¡´Â ´õ ´ú Á¤È®È÷ ¾Ë°Ô µÈ´Ù(The more precisely the
position is determined, the less precisely the momentum is known in this instant,
and vice versa. --Heisenberg, uncertainty paper, 1927)
À§ÀÇ ³»¿ëÀº ÀüÀÚ¿Í °°ÀÌ ¿øÀÚ ³»ºÎ ¼¼°è¿¡ Æ÷ÇÔµÈ ÀÔÀÚ¿¡°Ô Àû¿ëµÇ´Â À§Ä¡¿Í
¿îµ¿·® »çÀÌÀÇ ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®¸¦ °£°áÇÏ°Ô Ç¥ÇöÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀüÀÚÀÇ À§Ä¡°¡ Á¤È®È÷ °áÁ¤µÈ´Ù¸é
ÀüÀÚÀÇ ¼Óµµ´Â Á¤¸»·Î ¾Æ¹« °ªÀ̳ª °¡Áú ¼ö ¹Û¿¡ ¾ø´Ù´Â °ÍÀÌ ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®°¡ ¸»ÇÏ´Â
°ÍÀÌ´Ù. °°Àº ¹æ¹ýÀ¸·Î ÀüÀÚÀÇ ¼Óµµ°¡ Á¤È®È÷ °áÁ¤µÈ´Ù¸é ÀÌ ÀüÀÚ´Â ¾îµð¿¡ À§Ä¡ÇÏ´ÂÁö
µµÀúÈ÷ ¾Ë ¼ö ¾ø´Ù´Â °ÍÀÌ ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®°¡ ¸»ÇÏ´Â ³»¿ëÀÌ´Ù.
±×·±µ¥ ¹®Á¦´Â °ÔÀÌÆ® ±æÀ̰¡ 5³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ·Î ³»·Á°¡¸é ±× ¶§ºÎÅÍ Åͳθµ È¿°ú(tunneling
effect)°¡ ÀϾ´Â °ÍÀÌ´Ù. ÀüÀÚµéÀº Àü¾ÐÀ» °¡ÇÏÁö ¾Ê¾Æµµ Á¦ ¸¶À½´ë·Î ä³ÎÀ»
ÅëÇØ Áö³ª°¡´Â Çö»óÀÌ ¹ß»ýÇÏ´Â °ÍÀε¥, ±× ÀÌÀ¯´Â °ÔÀÌÆ® ±æÀ̰¡ ³Ê¹« ÀÛ¾Æ ¼Ò½º¿Í
µå·¹ÀÎÀÌ ¾ÆÁÖ ±Ø´ÜÀûÀ¸·Î ¹ÐÁ¢ÇØ Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ±×·¯¸é ÀüÀÚÀÇ ÄÜÆ®·ÑÀÌ ºÒ°¡´ÉÇØ
Á¤È®ÇÑ ½ÅÈ£Àü´ÞÀÌ ºÒ°¡´ÉÇØÁö´Â °ÍÀÌ´Ù. À̸¦ ¾î¶»°Ô ±Øº¹ÇÒ °ÍÀΰ¡? ¹«¾î ¹ýÄ¢ÀÇ
ÇѰè(Á¾¸»)³Ä? ¾Æ´Ï¸é Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¿¬Àå ÇÒ ¼ö Àִ°¡? ÀÌ °ÍÀÌ ¿À´Ã³¯ ¹ÝµµÃ¼ ÄÄÇ»ÅÍ
»ê¾÷µéÀÌ Á÷¸éÇÑ ¹®Á¦ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ¹Ù·Î ÀÌ Åͳθµ Çö»óÀÌ ÀϾ´Â ½ÃÁ¡¿¡ µµ´ÞÇϸé
Æ®·£Áö½ºÅÍ´Â ±âº» µ¥ÀÌÅÍÀÇ ¼Ò½º·Î¼´Â ½Åºù¼ºÀÌ ¾ø°Ô µÇ´Â °ÍÀÌ´Ù. ¾Æ¸¶µµ ½Åºù¼ºÀÇ
È®·üÀº 50% Á¤µµ µÉ °ÍÀε¥, ÇÏÀÌÁ¨º£¸£Å©ÀÇ ºÒÈ®Á¤¼º ¿ø¸®°¡ ÀÛµ¿Çϱ⠶§¹®¿¡ µµ´ëü
ÀüÀÚÀÇ À§Ä¡°¡ Á¤È®ÀÌ ¾îµð¿¡ ÀÖ´ÂÁö ¿¹ÃøÇϱⰡ ºÒ°¡´É Çϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ ´Üä³Î È¿°ú(Short Channel Effect: SCE)°¡ ³ªÅ¸³ª´Âµ¥, Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ °ÔÀÌÆ®
±æÀ̰¡ ÁÙ¾îµé°Å³ª ³Ê¹« ÀÛ¾Æ ¼Ò½º¿Í µå·¹ÀÎÀÌ ³Ê¹« ±ÙÁ¢ÇÔ¿¡ µû¶ó ¼ÒÀÚÆ¯¼ºÀÌ ³ªºüÁö´Â
Çö»óÀÌ ³ªÅ¸³´Ù. ¼Ò½º¿Í µå·¹ÀÎÀÌ ±ÙÁ¢ÇÏ°Ô µÇ¸é ´Üä³Î È¿°ú¿¡ ÀÇÇØ °ÔÀÌÆ®°¡ ´õ
ÀÌ»ó ¼Ò½º¿Í µå·¹Àΰ£ÀÇ ¿î¹ÝÀÚÀÇ À̵¿, Áï Àü·ù¸¦ Á¦¾îÇÒ ¼ö ¾ø°Ô µÇ¾î ½ºÀ§Äª ±â´ÉÀ»
»ó½ÇÇÑ´Ù. ÇÑÆí ¼ÒÀÚÀÇ Ãà¼Ò¿¡ ±âÀÎÇÑ Á¦¹Ý ¹®Á¦µéÀº Á¦¾î °¡´ÉÇÑ µ¿ÀÛÀü¾Ð ¹× ¹®ÅÎÀü¾Ð(threshold
voltage) ¹üÀ§ÀÇ Ãà¼Ò·Î ÀÎÇØ µ¿ÀÛ ¼º´ÉÀÇ Çâ»ó¿¡ Á¦¾àÀ» °¡ÇÑ´Ù. °ÔÀÌÆ®ÀÇ ±æÀ̸¦
ª°Ô ¸¸µé¸é (Áï, ´Üä³Î·Î ¸¸µé¸é) ´©¼³Àü·ù°¡ Áõ°¡Çϰųª on/off¸¦ Á¶ÀýÇÏ´Â Àü¾ÐÀÌ
º¯µ¿ÇÏ´Â ºñ¼±Çü Ư¼ºµéÀÌ Ä¿Á®¼ ȸ·Î¼³°è¿¡ ¹®Á¦°¡ µÈ´Ù. µû¶ó¼ °ÔÀÌÆ® ±æÀ̸¦
ª°Ô ÇÏ¸é¼ ¹ß»ýµÇ´Â ´Üä³ÎÈ¿°ú¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇϱâ À§ÇØ Ã¤³ÎÀÇ ÇüŸ¦ ¹Ù²Ù°Å³ª, LDD(Lightly
Doped Drain) Á¶°ÇÀ» Á¶ÀýÇϰųª, Fin(¹°°í±âÀÇ Áö´À·¯¹Ì) ±¸Á¶ÀÇ ½Å¼ÒÀÚ¸¦ Àû¿ëÇÏ´Â
³ë·ÂÀ» ±â¿ïÀ̰í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ³ª³ë½ºÄÉÀÏ·Î µé¾î¼¸é¼ ´Üä³ÎÈ¿°ú´Â ´õ¿í ½É°¢ÇϹǷÎ
À¯¿ëÇÑ Àü·ù-Àü¾ÐƯ¼ºÀ» ¾ò±â À§Çؼ´Â ¼ÒÀÚÀÇ ±¸Á¶°¡ º¹ÀâÇØÁö´Â ¹®Á¦¸¦ °¨¼öÇÒ
¼ö ¹Û¿¡ ¾ø´Â ½ÇÁ¤À¸·Î º¸ÀδÙ. ÇöÀç ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î ½Ç¸®ÄܹݵµÃ¼¿¡¼ ¸¹Àº ¿¬±¸°¡
ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù.
À̿ܿ¡ µå·¹ÀÎ À¯¹ß À庮 ÀúÇÏ(BIBL, Drain Induced Barrier Lowering)¶ó´Â ¹®Á¦µµ
¹ß»ýÇÑ´Ù. °ÔÀÌÆ®¿¡ Àü¾ÐÀ» Àΰ¡ÇÔÀ¸·Î½á ¼Ò½º¿¡¼ µå·¹ÀÎÀ¸·Î È帣´Â Àü·ù¸¦ Á¶ÀýÇϰÔ
µÇ´Âµ¥, DIBLÀº µå·¹Àο¡ Àΰ¡µÇ´Â Àü¾ÐÀÇ Å©±â¿¡ µû¶ó °ÔÀÌÆ®ÀÇ ¾Æ·¡¿¡ Àü·ùÀÇ È帧À»
Á¶ÀýÇÏ´Â À庮(barrier)ÀÇ ³ôÀ̰¡ ¹Ù²î´Â Çö»óÀ» ¸»ÇÑ´Ù. ´ëü·Î °ÔÀÌÆ® ±æÀÌ(¼ÒÀÚÀÇ
Å©±â)°¡ °¨¼ÒÇϸé DIBLÀÌ Áõ°¡ÇÏ¿© µ¿ÀÛÀÇ ¾ÈÁ¤¼ºÀÌ ¶³¾îÁö°Ô µÈ´Ù. Áï, DIBLµµ °á±¹
´Üä³ÎÈ¿°ú ÁßÀÇ ÇϳªÀÌ´Ù.
|